1.超音波接合用ヘッド
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d.ツール交換式ヘッド

    NFH方式(Nodal Future Hold System) 40kHz

    用途:フリップチップボンダー用他各種。
        多種多様なICの評価・実験向けに1本で可能。
        (形状によっては1本で対応しかねる場合もあります。)

        特長:業界初の横振動式ツール交換方式です。
       キャピラリのような棒たわみ振動ではありませんので負荷変動においての振幅変化は極小です。
       温度が変化しても振幅成分比は変化しません。

        ヘッド重量(ホーン+振動子) :約350g (ホーン形状によって異なります)
   
   ツールチップ形状        :六角ボルトねじ込み式
   ツール素材            :SUS440C or 超硬
                                           SUS440C    超硬
   ツールチップ部寸法       :M3=2面幅5.5mm       □3.8mm     □2.1mm
                     :M6=2面幅10mm        □7.0mm     □6.3mm
                     :M8=2面幅14mm        □9.9mm     


    最大加圧力           : 100kgf以上
    温度調整            : コンスタントヒート対応(常温〜250℃又は50℃〜300℃)
                       要振動子空冷(200kPa/流量25リッター/m以上 クリーン&ドライエアー)
                       250℃〜400℃ご希望の際はご相談下さい。
    
    ※断熱材の上部構造物への取付ピッチはご相談に応じれます。
                            
    10mmIC用を販売開始

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                 横振動シミュレーション(FEM)アニメ


    

                                           
                         

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